電子工業(yè)用水標(biāo)準(zhǔn)
抖化學(xué) / 2022-12-14
電子工業(yè)用水標(biāo)準(zhǔn):隨著電子工業(yè)的飛躍發(fā)展,電子工業(yè)生產(chǎn)用水的純度要求也日益提高。在電子管、半導(dǎo)體器件和固體電路等產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中使用蒸餾水已不能滿足要求。例如:目前半導(dǎo)體集成電路的集成度已達(dá)到電路上相鄰兩個(gè)元件之間距離僅為0.002mm左右,所以個(gè)0.1mm的污染微粒,就能損壞上百個(gè)元件。純水及高純水雜質(zhì)含量少,電阻率大,電絕緣性能好,用它來(lái)清洗電子管、固體電路等產(chǎn)品的零件組件,能大大提高產(chǎn)品質(zhì)量,減少?gòu)U品,降低成本。因此,純水及高純水在電子器件的生產(chǎn)中占有正要地位。純水即去離子水,又稱為除鹽水,水中剩余含鹽量一般在1.0mg·L-1以下,25°C時(shí)水的電阻率應(yīng)為1.0×10°~10×10°Ωcm。
高純水一r般指不僅將水中的導(dǎo)電物質(zhì)幾乎完全除去,而且將水中殘存的膠體物質(zhì)、氣體以及有機(jī)物等也已清除至很低程度的水;水中剩余含鹽量在0.1mg. L-以下,25°C時(shí)水的電阻率應(yīng)達(dá)到10μ2Ωcm,接近純水的理論值。
電子工業(yè)中生產(chǎn)各類產(chǎn)品對(duì)水質(zhì)的要求目前尚無(wú)統(tǒng)一的規(guī)范,表4-3及表4-4所列數(shù)據(jù)僅供參考。
根據(jù)原水中存在的雜質(zhì)情況和對(duì)水質(zhì)的要求,電子工業(yè)用水的處理系統(tǒng)分為“一次純水系統(tǒng)”與“二次純水系統(tǒng)”全廠集中處理的“一次純水系統(tǒng)”多采用電滲析(或反滲透)與混合床離子交換串聯(lián)處理或電滲析與陰陽(yáng)離子交換,混合床離子交換多級(jí)串聯(lián)組成。當(dāng)然在電滲析(或反滲透)前還要有預(yù)處理。在靠近生產(chǎn)的使用點(diǎn)設(shè)置“二次純水系統(tǒng)”,它將“一次純水系統(tǒng)”的出水經(jīng)紫外線(257.3nm的波長(zhǎng))殺菌,混床離子交換以及超濾或微孔濾膜過(guò)濾后得超純水。
清洗零件后的排放水還是較純的,其電阻率約在3M9Ω·cm,可以回收再處理除去其中的有害成份,再加以利用,這樣可減輕水處理裝置的負(fù)荷并降低運(yùn)行費(fèi)用,圖4-1為超純水生產(chǎn)流程示意圖。