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電子信息材料之單晶硅


實(shí)驗(yàn)室k / 2018-12-26

       20世紀(jì)中葉以后發(fā)展起來的信息技術(shù),在60年間的迅速發(fā)展,已經(jīng)成為影響國(guó)計(jì)民生最大的高新技術(shù),成為科技發(fā)展的先導(dǎo)。

       電子信息技術(shù)是以微電子技術(shù)為基礎(chǔ)的計(jì)算機(jī)技術(shù)與通信技術(shù)的綜合,它涉及信息的產(chǎn)生、收集、交換、存儲(chǔ)、傳輸、顯示、識(shí)別、提取、控制、加工和利用等方面。這些技術(shù)賴以發(fā)展的基礎(chǔ)核心物質(zhì),需要化學(xué)家的研制。先以單晶硅為例說明。

       單晶硅是計(jì)算機(jī)技術(shù)的基礎(chǔ)物質(zhì),它決定著集成電路的生產(chǎn)水平,是信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的核心材料。

       硅在地殼中的含量極為豐富,僅次于氧,居所有元素的第二位。硅的一般存在形式是硅石和硅酸鹽,它構(gòu)成巖石、沙子和泥土的主要成分。自然界中硅很少以單質(zhì)的硅形態(tài)存在。

       化學(xué)家將自然界中大量存在的石英,即二氧化硅(SiO2,又稱硅石),選出較純凈的晶態(tài)礦石或沙子,用高純焦炭通過下面的化學(xué)反應(yīng),制得純度為95%以上的單質(zhì)硅。

 

 

為了提純這種單質(zhì)硅,先將它和氯化氫(HCl)反應(yīng),成為氣相化合物SiHCl3:

 

 

將SiHCl3和雜質(zhì)分離,使它成為純度很高的SiHCl3。再按這個(gè)反應(yīng)的逆反應(yīng),用高純氫氣還原,得到純度為6個(gè)9(即99.9999%)以上的高純硅。硅的熔點(diǎn)是1420℃。

       將上述所得的高純硅在純凈的高真空或高純氬氣體條件下,在高純度石英坩鍋中熔融,再按提拉法讓晶體從融熔體中逐漸長(zhǎng)大成大塊單晶硅。因它的外形呈圓柱形,稱為圓柱形硅柱。圖5.4.1示出直徑達(dá)300mm,長(zhǎng)度約1400mm的硅柱。


       將硅柱切成薄片,厚度一般為0.3mm,稱為空白圓晶。在這硅片基礎(chǔ)上,一般經(jīng)過氧化、光刻、擴(kuò)散等程序制成集成電路。

       首先是氧化工藝,即在硅片表面氧化出一薄層二氧化硅,作為絕緣層和阻擋層;其次用類似照相技術(shù)的光刻工藝,按特定設(shè)計(jì)要求刻出沒有二氧化硅的“窗口”;第三,利用擴(kuò)散法或離子注入法進(jìn)行摻雜,由于二氧化硅薄層的存在,雜質(zhì)只能從窗口摻入;第四,為了在芯片上制造出各種元件,要反復(fù)利用上述方法,摻進(jìn)不同雜質(zhì),做出不同性質(zhì)的元件和導(dǎo)線?,F(xiàn)在利用0.3μm的線寬工藝可在1×2cm2芯片上集成出1.4億個(gè)元件。目前線寬逐漸變窄,從90nm在線生產(chǎn),到45nm工藝研究成功。另外,單晶硅圓片的直徑越大,在一個(gè)圓片上集成所得元件越多,所得的電腦硬件處理器的性能大為提高,成本也大為降低。

       要使電腦的功能提高,單晶硅的生產(chǎn)是重要關(guān)鍵,各國(guó)化學(xué)家們都在不斷地研究超純硅的制造,以及直徑達(dá)400-500mm圓柱形硅柱的制造。


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