四氟甲烷
MSDS安全員 / 2020-09-08
四氟甲烷
四氟甲烷MSDS化學(xué)品安全技術(shù)說(shuō)明書
第一部分 化學(xué)品及企業(yè)標(biāo)識(shí)
化學(xué)品中文名：四氟甲烷；制冷劑R-14;四氟化碳
化學(xué)品英文名：tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride
化學(xué)性質(zhì)：四氟甲烷俗稱四氟化碳化學(xué)式CF4分子量88是一種鹵代烴，它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳，也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物。零下198 °C時(shí)，四氟化碳具有單斜的結(jié)構(gòu)，晶格常數(shù)為a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。屬于完全不燃?xì)怏w，無(wú)色，無(wú)味，無(wú)嗅氣體。不溶于水，常壓下25℃時(shí)為0.0015，溶于氯仿和苯。本品無(wú)毒、不燃。高濃度時(shí)有麻醉作用。其高純氣及其配高純氧氣的混合氣，是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，也可作為低溫制冷劑、低溫絕緣介質(zhì)。化學(xué)穩(wěn)定性及熱穩(wěn)定性均好，對(duì)許多試劑呈惰性，在1000℃下不水解。常溫下不與銅、鎳和鎢反應(yīng)。由于C-F鍵的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),因此以CF4為代表的全氟烴可認(rèn)為是基本無(wú)毒的。
化學(xué)用途:四氟甲烷用于致冷劑、溶劑、潤(rùn)滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。也用于制作低溫液體壓力計(jì)或作為惰性氣體，或用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝和激光氣體。是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子燭刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽(yáng)氧氣的混合體，可 廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。 在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
生產(chǎn)方法:1.由碳與氟反應(yīng)，或一氧化碳與氟反應(yīng)，或碳化硅與氟反應(yīng)，或氟石與石油焦在電爐里反應(yīng)，或二氟二氯甲烷與氟化氫反應(yīng)，或四氯化碳與氟化銀反應(yīng)，或四氯化碳與氟化氫反應(yīng)，都能生成四氟化碳。四氯化碳與氟化氫的反應(yīng)在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進(jìn)行，反應(yīng)后的氣體經(jīng)水洗、堿洗除去酸性氣體，再通過(guò)冷凍，用硅膠除去氣體中的水分，最后經(jīng)精餾而得成品。
2.預(yù)先稱取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的單質(zhì)硅粉，置于鎳盤中，使硅和碳化硅充分接觸后，將鎳盤放入蒙乃爾合金反應(yīng)管中，向反應(yīng)管內(nèi)通入氟氣，氟氣先和單質(zhì)硅反應(yīng)，反應(yīng)放熱后，氟開(kāi)始和碳化硅進(jìn)行反應(yīng)，通入等體積的干燥氮?dú)庖韵♂尫鷼?，使反?yīng)繼續(xù)進(jìn)行，生成氣體通過(guò)液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝，然后慢慢地氣化后，將其通過(guò)裝有氫氧化鈉溶液的洗氣瓶除去四氟化硅，隨后通過(guò)硅膠和五氧化二磷干燥塔得到最終產(chǎn)品。
3.以活性炭與氟為原料經(jīng)氟化反應(yīng)制備。在裝有活性炭的反應(yīng)爐中，緩緩?fù)ㄈ敫邼夥鷼?，并通過(guò)加熱器加熱、供氟速率和反應(yīng)爐冷卻控制反應(yīng)溫度。產(chǎn)品經(jīng)除塵，堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質(zhì)、再經(jīng)脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進(jìn)行間歇粗餾，通過(guò)控制精餾溫度，除去O2、N2、H2，得到高純CF4。
企業(yè)名稱：西隴化工股份有限公司
生產(chǎn)企業(yè)地址：廣東省汕頭市潮汕路西隴中街1-3號(hào)
郵 編: 515064 傳 真: 0754-82481768
企業(yè)應(yīng)急電話：400-7788689
電子郵件地址：339904316@qq.com
網(wǎng)站地址：http://f670.cn/
技術(shù)說(shuō)明書編碼:
第二部分 成分/組成信息
√ 純品 混合物
有害物成分 濃度 CAS No.
四氟甲烷 75-73-0
第三部分 危險(xiǎn)性概述
危險(xiǎn)性類別：第2.2類 不燃?xì)怏w
侵入途徑：吸入
健康危害：四氟甲烷高濃度有麻醉作用。接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐。
環(huán)境危害：對(duì)環(huán)境有害。
燃爆危險(xiǎn)：四氟甲烷不燃，無(wú)特殊燃爆特性。
第四部分 急救措施
皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用大量流動(dòng)清水沖洗20～30分鐘。如有不適感，就醫(yī)。
眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動(dòng)清水或生理鹽水徹底沖洗10～15分鐘。如有不適感，就醫(yī)。
吸 入：迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。呼吸、心跳停止，立即進(jìn)行心肺復(fù)蘇術(shù)。就醫(yī)。
食 入：不會(huì)通過(guò)該途徑接觸。
第五部分 消防措施
危險(xiǎn)特性：不燃。若遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有開(kāi)裂和爆炸的危險(xiǎn)。
有害燃燒產(chǎn)物：無(wú)意義。
滅火方法：本品不燃。根據(jù)著火原因選擇適當(dāng)滅火劑滅火。
滅火注意事項(xiàng)及措施：消防人員須佩戴防毒面具、穿全身消防服，在上風(fēng)向滅火。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。
第六部分 泄漏應(yīng)急處理
應(yīng)急行動(dòng)：根據(jù)氣體的影響區(qū)域劃定警戒區(qū)，無(wú)關(guān)人員從側(cè)風(fēng)、上風(fēng)向撤離至安全區(qū)。建議應(yīng)急處理人員戴正壓自給式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。液化氣體泄漏時(shí)穿防寒服。禁止接觸或跨越泄漏物。盡可能切斷泄漏源。噴霧狀水抑制蒸氣或改變蒸氣云流向，避免水流接觸泄漏物。禁止用水直接沖擊泄漏物或泄漏源。若可能翻轉(zhuǎn)容器，使之逸出氣體而非液體。防止氣體通過(guò)下水道、通風(fēng)系統(tǒng)和密閉性空間擴(kuò)散。漏出氣允許排入大氣中。泄漏場(chǎng)所保持通風(fēng)。
第七部分 操作處置與儲(chǔ)存
操作注意事項(xiàng)：密閉操作，全面通風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的不燃?xì)怏w專用庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
第八部分 接觸控制/個(gè)體防護(hù)
接觸限值：
MAC(mg/m3): 未制定標(biāo)準(zhǔn) PC-TWA（mg/m3）: 未制定標(biāo)準(zhǔn)
PC-STEL（mg/m3）: 未制定標(biāo)準(zhǔn) TLV-C(mg/m3): 未制定標(biāo)準(zhǔn)
TLV-TWA(mg/m3): TLV-STEL(mg/m3):
監(jiān)測(cè)方法：無(wú)資料。
工程控制：生產(chǎn)過(guò)程密閉，全面通風(fēng)。
呼吸系統(tǒng)防護(hù)：一般不需要特殊防護(hù)，高濃度接觸時(shí)可佩戴過(guò)濾式防毒面具(半面罩)。
眼睛防護(hù)：一般不需特殊防護(hù)。
身體防護(hù)：穿一般作業(yè)工作服。
手 防 護(hù)：戴一般作業(yè)防護(hù)手套。
其他防護(hù)：避免高濃度吸入。進(jìn)入罐、限制性空間或其它高濃度區(qū)作業(yè)，須有人監(jiān)護(hù)。
第九部分 理化特性
外觀與性狀：無(wú)色無(wú)味氣體。
pH值: 無(wú)意義 熔點(diǎn)(℃): -183.6
沸點(diǎn)(℃): -127.8 相對(duì)密度(水=1): 1.89
相對(duì)蒸氣密度(空氣=1): 3.04 飽和蒸氣壓(kPa): 13.33(-150.7℃)
臨界溫度(℃): -45.5 臨界壓力(MPa): 3.74
辛醇/水分配系數(shù): 1.18 閃點(diǎn)(℃): 無(wú)意義
引燃溫度(℃): 無(wú)意義 爆炸下限[％(V/V)]: 無(wú)意義
爆炸上限[％(V/V)]: 無(wú)意義
溶解性：不溶于水。
主要用途：四氟甲烷用作低溫致冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù)。
第十部分 穩(wěn)定性和反應(yīng)性
穩(wěn)定性：穩(wěn)定
禁配物：強(qiáng)氧化劑、易燃或可燃物、金屬等。
避免接觸的條件：
聚合危害：不聚合
分解產(chǎn)物：氟化氫。
第十一部分 毒理學(xué)資料
急性毒性：
LD50：
LC50：
大鼠吸入LC50(mg/m3): 895000ppm/15M
刺激性：
第十二部分 生態(tài)學(xué)資料
生態(tài)毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
其他有害作用：該物質(zhì)對(duì)環(huán)境可能有危害，應(yīng)特別注意對(duì)大氣的污染。氟代烴在低層大氣中比較穩(wěn)定，而在上層大氣中可被能量更大的紫外線分解。
第十三部分 廢棄處置
廢棄物性質(zhì)：危險(xiǎn)廢物
廢棄處置方法：根據(jù)國(guó)家和地方有關(guān)法規(guī)的要求處置?；蚺c廠商或制造商聯(lián)系，確定處置方法。
廢棄注意事項(xiàng)：把空容器歸還廠商。
第十四部分 運(yùn)輸信息
危險(xiǎn)貨物編號(hào)：22033
UN編號(hào)：1982
包裝類別：Ⅲ類包裝
包裝標(biāo)志：不燃?xì)怏w
包裝方法：鋼質(zhì)氣瓶。
運(yùn)輸注意事項(xiàng)：采用剛瓶運(yùn)輸時(shí)必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應(yīng)將瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超過(guò)車輛的防護(hù)欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動(dòng)。嚴(yán)禁與易燃物或可燃物、氧化劑、等混裝混運(yùn)。夏季應(yīng)早晚運(yùn)輸，防止日光曝曬。鐵路運(yùn)輸時(shí)要禁止溜放。
第十五部分 法規(guī)信息
法規(guī)信息：下列法律法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)化學(xué)品的安全使用、儲(chǔ)存、運(yùn)輸、裝卸、分類和標(biāo)志等方面均作了相應(yīng)的規(guī)定：
中華人民共和國(guó)安全生產(chǎn)法(2002年6月29日第九界全國(guó)人大常委會(huì)第二十八次會(huì)議通過(guò))；
中華人民共和國(guó)職業(yè)病防治法(2001年10月27日第九界全國(guó)人大常委會(huì)第二十四次會(huì)議通過(guò))；
中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法(1989年12月26日第七屆全國(guó)人大常委會(huì)第十一次會(huì)議通過(guò))；
危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例(2002年1月9日國(guó)務(wù)院第52次常務(wù)會(huì)議通過(guò))；
安全生產(chǎn)許可證條例(2004年1月7日國(guó)務(wù)院第34次常務(wù)會(huì)議通過(guò))；
常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志(GB 13690-92)；
工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值(GBZ 2-2002)；
危險(xiǎn)化學(xué)品名錄；
高毒物品目錄。
第十六部分 其他信息
填表時(shí)間： 2020年9月8日
填表部門： 研發(fā)部
數(shù)據(jù)審核單位：
修改說(shuō)明： 暫無(wú)
![1-氯甲基-4-氟-1,4-二疊氮雙環(huán)[2.2.2]辛烷雙四氟硼酸鹽](images/202308/thumb_img/5130_thumb_G_1691916650431.jpg)
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