二氯硅烷
抖化學(xué) / 2023-01-14
二氯硅烷化學(xué)品安全技術(shù)說明書
第一部分 化學(xué)品及企業(yè)標(biāo)識(shí)
化學(xué)品中文名：二氯硅烷
化學(xué)品英文名：dichlorosilane
企業(yè)名稱：西隴科學(xué)股份有限公司
生產(chǎn)企業(yè)地址：廣東省汕頭市潮汕路西隴中街1-3號(hào)
郵 編: 515064 傳 真: 0754-82481768
企業(yè)應(yīng)急電話：0598-7509639
電子郵件地址：339904316@qq.com
網(wǎng)站地址：http://f670.cn/
第二部分 成分/組成信息
√ 純品 混合物
有害物成分 濃度 CAS No.
二氯硅烷 4109-96-0
化學(xué)特性：二氯硅烷是一種化學(xué)物質(zhì)，化學(xué)式SiH2Cl2，為無色氣體，熔點(diǎn)：-122℃沸點(diǎn)：8.3℃飽和蒸氣壓：163.6kPa（20℃）臨界壓力：4.55Mpa引燃溫度：41~47℃爆炸上限（V/V）：96.0%爆炸下限（V/V）：4.1%溶于
苯、乙醚等多數(shù)有機(jī)溶劑，有毒腐蝕性氣體，具有刺激性臭味。
產(chǎn)品用途：二氯硅烷用于制造半導(dǎo)體，電子工業(yè)中多晶硅外延生長以及化學(xué)氣相淀積二氧化硅和氮化硅，尤其是在外延法工藝中作為硅源。用于甲硅烷基化劑及合成硅的有機(jī)化合物。
生產(chǎn)方法：將硅粉和氯化氫按適當(dāng)比例進(jìn)行反應(yīng)，生成二氯二氫硅，經(jīng)蒸餾分離三氯氫硅，把得到的二氯二氫硅進(jìn)行精制，制得電子級(jí)高純二氯二氫硅成品。其Si+2HCl→SiH2C12。
第三部分 危險(xiǎn)性概述
危險(xiǎn)性類別：第2.3類 有毒氣體
侵入途徑：吸入
健康危害：二氯硅烷對(duì)上下呼吸道、皮膚和眼睛有腐蝕性和刺激性。本品遇水或空氣中的水份迅速水解形成氯化氫（鹽酸）。鹽酸可致皮膚灼傷和粘膜刺激。接觸后表現(xiàn)有流淚、咳嗽、咳痰、呼吸困難、流涎等。可引起肺炎或肺水腫。眼接觸可致灼傷，導(dǎo)致失明。
環(huán)境危害：對(duì)環(huán)境有害。
燃爆危險(xiǎn)：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物。遇水劇烈反應(yīng)，產(chǎn)生有毒氣體。
第四部分 急救措施
皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用大量流動(dòng)清水沖洗20～30分鐘。如有不適感，就醫(yī)。
眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動(dòng)清水或生理鹽水徹底沖洗10～15分鐘。如有不適感，就醫(yī)。
吸 入：迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。呼吸、心跳停止，立即進(jìn)行心肺復(fù)蘇術(shù)。就醫(yī)。
食 入：不會(huì)通過該途徑接觸。
第五部分 消防措施
危險(xiǎn)特性：易燃，其蒸氣能與空氣形成范圍廣闊的爆炸性混合物，遇熱源和明火有燃燒爆炸的危險(xiǎn)。與鹵素及其它氧化劑劇烈反應(yīng)。遇水或水蒸氣劇烈反應(yīng)，生成鹽酸煙霧。
有害燃燒產(chǎn)物：氯化氫、氧化硅。
滅火方法：用霧狀水、泡沫、干粉、二氧化碳滅火。
滅火注意事項(xiàng)及措施：切斷氣源。若不能切斷氣源，則不允許熄滅泄漏處的火焰。消防人員必須佩戴空氣呼吸器、穿全身防火防毒服，在上風(fēng)向滅火。盡可能將容器從火場移至空曠處?；饒鲋杏写罅勘酒沸孤┪飼r(shí)，禁用水、泡沫和酸堿滅火劑。
第六部分 泄漏應(yīng)急處理
應(yīng)急行動(dòng)：消除所有點(diǎn)火源。根據(jù)氣體的影響區(qū)域劃定警戒區(qū)，無關(guān)人員從側(cè)風(fēng)、上風(fēng)向撤離至安全區(qū)。建議應(yīng)急處理人員穿內(nèi)置正壓自給式呼吸器的全封閉防化服。如果是液化氣體泄漏，還應(yīng)注意防凍傷。作業(yè)時(shí)使用的所有設(shè)備應(yīng)接地。禁止接觸或跨越泄漏物。盡可能切斷泄漏源。使用抗溶性泡沫抑制蒸氣。若可能翻轉(zhuǎn)容器，使之逸出氣體而非液體。防止氣體通過下水道、通風(fēng)系統(tǒng)和密閉性空間擴(kuò)散。隔離泄漏區(qū)直至氣體散盡。
第七部分 操作處置與儲(chǔ)存
操作注意事項(xiàng)：嚴(yán)加密閉，提供充分的局部排風(fēng)和全面通風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴導(dǎo)管式防毒面具，穿膠布防毒衣，戴橡膠手套。遠(yuǎn)離火種、熱源，工作場所嚴(yán)禁吸煙。使用防爆型的通風(fēng)系統(tǒng)和設(shè)備。避免產(chǎn)生煙霧。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑、堿類、醇類接觸。尤其要注意避免與水接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫房。庫溫不宜超過30℃。遠(yuǎn)離火種、熱源。包裝必須密封，切勿受潮。應(yīng)與氧化劑、堿類、醇類、食用化學(xué)品分開存放，切忌混儲(chǔ)。采用防爆型照明、通風(fēng)設(shè)施。禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
第八部分 接觸控制/個(gè)體防護(hù)
接觸限值：
MAC(mg/m3): 未制定標(biāo)準(zhǔn) PC-TWA（mg/m3）: 未制定標(biāo)準(zhǔn)
PC-STEL（mg/m3）: 未制定標(biāo)準(zhǔn) TLV-C(mg/m3): 未制定標(biāo)準(zhǔn)
TLV-TWA(mg/m3): TLV-STEL(mg/m3):
監(jiān)測方法：無資料。
工程控制：嚴(yán)加密閉，提供充分的局部排風(fēng)和全面通風(fēng)。提供安全淋浴和洗眼設(shè)備。
呼吸系統(tǒng)防護(hù)：正常工作情況下，佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。緊急事態(tài)搶救或撤離時(shí)，建議佩戴空氣呼吸器。
眼睛防護(hù)：戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡。
身體防護(hù)：穿密閉型防毒服。
手 防 護(hù)：戴橡膠手套。
其他防護(hù)：工作現(xiàn)場禁止吸煙、進(jìn)食和飲水。工作完畢，淋浴更衣。進(jìn)入罐、限制性空間或其它高濃度區(qū)作業(yè)，須有人監(jiān)護(hù)。
第九部分 理化特性
外觀與性狀：無色氣體，有特征氣味。
pH值: 無意義 熔點(diǎn)(℃): -122
沸點(diǎn)(℃): 8.3 相對(duì)密度(水=1): 1.26
相對(duì)蒸氣密度(空氣=1): 3.48 飽和蒸氣壓(kPa): 163.6(20℃)
臨界壓力(MPa): 無資料 辛醇/水分配系數(shù): 無資料
閃點(diǎn)(℃): -28 引燃溫度(℃): 41～47
爆炸下限[％(V/V)]: 4.1 爆炸上限[％(V/V)]: 99.0
溶解性：溶于苯、乙醚、等多數(shù)有機(jī)溶劑。
主要用途：二氯硅烷用于甲硅烷基化劑，及合成硅的有機(jī)化合物。
第十部分 穩(wěn)定性和反應(yīng)性
穩(wěn)定性：穩(wěn)定
禁配物：強(qiáng)堿、水、醇類、強(qiáng)酸、強(qiáng)氧化劑、鹵素。
避免接觸的條件：潮濕空氣。
聚合危害：不聚合
分解產(chǎn)物：氯化氫、氧化硅。
第十一部分 毒理學(xué)資料
急性毒性：
LD50：
LC50：
大鼠吸入LC50(mg/m3): 氯化氫:3124ppm/60m,4701ppm/30m
其它動(dòng)物吸入LC50：人吸入氯化氫LCL0：1300ppm/30m,3000ppm/5m
刺激性：
家兔經(jīng)眼：5mg/30s,輕度刺激。
第十二部分 生態(tài)學(xué)資料
生態(tài)毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
其他有害作用：無資料。
第十三部分 廢棄處置
廢棄物性質(zhì)：危險(xiǎn)廢物
廢棄處置方法：根據(jù)國家和地方有關(guān)法規(guī)的要求處置。或與廠商或制造商聯(lián)系，確定處置方法。
廢棄注意事項(xiàng)：處置前應(yīng)參閱國家和地方有關(guān)法規(guī)。
第十四部分 運(yùn)輸信息
危險(xiǎn)貨物編號(hào)：23042
UN編號(hào)：2189
包裝類別：Ⅱ類包裝
包裝標(biāo)志：有毒氣體；易燃?xì)怏w
包裝方法：無資料。
運(yùn)輸注意事項(xiàng)：鐵路運(yùn)輸時(shí)須報(bào)鐵路局進(jìn)行試運(yùn)，試運(yùn)期為兩年。試運(yùn)結(jié)束后，寫出試運(yùn)報(bào)告，報(bào)鐵道部正式公布運(yùn)輸條件。采用剛瓶運(yùn)輸時(shí)必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應(yīng)將瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超過車輛的防護(hù)欄板，并用三角木墊卡牢，防止?jié)L動(dòng)。運(yùn)輸時(shí)運(yùn)輸車輛應(yīng)配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材。裝運(yùn)該物品的車輛排氣管必須配備阻火裝置，禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具裝卸。嚴(yán)禁與氧化劑、堿類、醇類、食用化學(xué)品、等混裝混運(yùn)。夏季應(yīng)早晚運(yùn)輸，防止日光曝曬。中途停留時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源。公路運(yùn)輸時(shí)要按規(guī)定路線行駛，禁止在居民區(qū)和人口稠密區(qū)停留。鐵路運(yùn)輸時(shí)要禁止溜放。
第十五部分 法規(guī)信息
法規(guī)信息：下列法律法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)化學(xué)品的安全使用、儲(chǔ)存、運(yùn)輸、裝卸、分類和標(biāo)志等方面均作了相應(yīng)的規(guī)定：
中華人民共和國安全生產(chǎn)法(2002年6月29日第九界全國人大常委會(huì)第二十八次會(huì)議通過)；
中華人民共和國職業(yè)病防治法(2001年10月27日第九界全國人大常委會(huì)第二十四次會(huì)議通過)；
中華人民共和國環(huán)境保護(hù)法(1989年12月26日第七屆全國人大常委會(huì)第十一次會(huì)議通過)；
危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例(2002年1月9日國務(wù)院第52次常務(wù)會(huì)議通過)；
安全生產(chǎn)許可證條例(2004年1月7日國務(wù)院第34次常務(wù)會(huì)議通過)；
常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志(GB 13690-92)；
危險(xiǎn)化學(xué)品名錄。
第十六部分 其他信息
填表時(shí)間： 2023年1月14日
填表部門： 研發(fā)部
數(shù)據(jù)審核單位：
修改說明： 暫無
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